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6點介紹INFICON電離真空計校準時需要注意的事項

電離真空計是基于在一定條件下，待測氣體的壓力與氣體電離產(chǎn)生的離子流呈正比關系的原理制作的真空測量儀器。

由筒狀收集極，柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構(gòu)成，筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子，離子被收集極收集，根據(jù)收集的離子流大小來測量氣體壓強的真空計。

INFICON電離真空計的校準的注意事項

真空計按測量性質(zhì)可分為絕對真空計和相對真空計。所謂絕對真空計就是通過測量物理量本身確定壓力的一種真空計,例如u型壓力計、壓縮式真空計就是絕對真空計。通過測量與壓力有關的物理量并與絕對真空計比較來確定壓力的真空計稱為相對真空計。我們校準的電離真空計、電容薄膜真空計、熱傳導真空計,都是相對真空計。

電離規(guī)管的結(jié)構(gòu)為一個圓筒型三極管,它有三個電極:陰極f發(fā)射電子;柵極a加速電子,收集極c收集離子。一般陰極加零電位,柵極加正電位,收集極加負電位。它的優(yōu)點主要是能夠測量氣體與蒸氣的全壓強;反應迅速,可連續(xù)讀數(shù)和遠距離控制;量程寬,線性好,測量精度較高。缺點主要是在壓強高于10-1pa時,容易氧化燈絲,一旦系統(tǒng)突然暴露大氣會燒壞規(guī)管;玻殼、電極的放氣導致測量的誤差。

校準電離真空計時,應注意以下六點:

（1）一般情況下,規(guī)管和系統(tǒng)連接時,先將未開封的規(guī)管和測量電路連接到一起試一下,檢查規(guī)管是否正常,然后再接到系統(tǒng)。

（2）在校準的過程中,如果出現(xiàn)故障,在原因不明的情況下,拿一支未開封的規(guī)管試一下,判斷是規(guī)管的問題,還是電路的問題。如果換上未開封的規(guī)管一切正常,說明原規(guī)管有問題;如果換上未開封的規(guī)管仍然不正常,說明電路有問題,這樣就縮小了故障的范圍。

（3）規(guī)管安裝時應豎直安裝,否則在加熱除氣,烘烤時柵極和陰極產(chǎn)生變形,相對位置變化,將會嚴重影響測量精度。

（4）在開燈絲前,判斷被測真空系統(tǒng)中的真空度確信小于10-1pa時,才能開燈絲,否則真空度太低,導致規(guī)管陰極氧化而燒毀。

（5）在讀數(shù)之前,應先調(diào)整好發(fā)射電流、零點及滿度。具體步驟是:發(fā)射電流—零點—滿度—發(fā)射電流。

（6）電離真空計只需要加電預熱10分鐘就可以校準了。

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